| 参数\型号 | VPSF-1810 | VPSF-2012 | VPSF-3012 |
| 工作区尺寸 D×H（mm） | 1800×1000 | 2000×1200 | 3000×1200 |
| 最高温度（℃） | 1900 | ||
| 温度均匀性（℃） | ±10 | ||
| 极限真空度（Pa） | 5 | ||
| 最高压力（MPa） | 2 | ||
| 压升率（pa/h） | 5 | ||
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
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