| 型号/参数 | VQI-1010 | VQI-1813 | VQI-2013 |
| 工作区尺寸D×H（mm） | φ1200×1000 | φ1800×1300 | φ2000×700 |
| 最高温度（℃） | 2000 | ||
| 压力吨位（T） | 100 | ||
| 极限真空度（pa） | 1×10-3 | ||
| 最高压力（MPa） | 2-10 | ||
| 压升率（pa/h） | 0.67 | ||
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
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